FB-x26BUMP1
Vollautomatischer thermosonischer Stud-Bump-Bonder
Der Kaijo FB-x26BUMP1 ist für das Hochgeschwindigkeits-Bonden von Siliziumwafern mit einem Durchmesser von bis zu 6 Zoll ausgelegt. Er ermöglicht das thermosonische Bump-Bonden mit Gold-, Kupfer- oder Silberdrähten.
Hauptmerkmale
- Hochgeschwindigkeits-Bonding – nur 30 ms pro Bump
- Arbeitsbereich für Wafergrößen zwischen 4 Zoll (102 mm) und 6 Zoll (204 mm) mit Träger
- Kompakter Bondkopf minimiert Auswirkungen von Strahlungswärme
- Bereit für den steigenden Bedarf in der Produktionsvernetzung und Industrie 4.0 dank SECS/GEM-Interface
- Verbesserte Rückverfolgbarkeits- und Selbstdiagnosefunktionen
- Bonden auf wärmeempfindlichen Substraten (Verfahrenstemperatur: 50 °C)
Bonder für die Wafer-Verarbeitung erzeugen Stud-Bumps (Noppen) auf Silizium-Wafern und werden hauptsächlich im Flip-Chip-Package-Prozess eingesetzt. Kaijo bietet zwei Modelle solcher Wafer-Bump-Bonder für unterschiedliche Wafergrößen an.